激光调阻原理就是利用一束极细的激光束打在厚、薄膜电阻上,通过对电阻体气化蒸发实现厚、薄膜电路的切割。激光束按计算机预定的程序切割厚、薄膜电阻,通过改变厚、薄膜电阻的几何形状从而改变电阻的阻值。随着激光切割过程的进行,同时实时测量电路实时监视厚、薄膜电阻阻值的变化,厚、薄膜电阻的阻值不断接近目标阻值,当厚、薄膜电阻达到目标阻值后激光束关闭,即实现激光调阻过程。
设备特点
•调阻效率高:调阻速度相对国内其它激光调阻产品高出4-10倍,产能大大提升,单位成本下降。
•调阻精度高:独特的测控技术,测量控制系统精度的一致性好,提升产品附加值;成品率高,单位成本下降。
•软件可编程:可轻松实现客户的不同需求以及高自动化运行,也可作为专门的测试平台,适应性广。
•使用成本低:采用了Zui先进的激光器,无耗材,使用成本Zui低,长期使用节约大量的费用。
•多功能:可实现陶瓷基片的激光划线、打标,减少设备的再投入。
•专业大理石基座,可有效减小工作台启动、停止和加速过程中产生的震动,同时保持机台温度的稳定性,可靠性高。
技术参数
激光部分 |
型号规格 |
sft310 |
sft320
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激光波长 |
1064nm |
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激光功率 |
10w |
20w
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典型光斑尺寸 |
35±5µm
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对焦方式 |
计算机程序控制 |
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冷却方式 |
风冷 |
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激光束定位系统 |
激光束运动范围 |
50mm x 50mm |
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运动分辨率 |
0.76µm |
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重复定位精度 |
±2.5µm |
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分步重复机械运动系统 |
运动方式 |
空气悬浮运动,无摩擦力 |
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运动范围
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290mm*260mm
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重复定位精度
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±2µm
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Zui大运动速度(空载)
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900mm/s |
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测量系统 |
电阻测量方式
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四线制测量或二线制测量
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电阻测量精度
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Zui中阻0.02%
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电阻测量范围
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0.1ω-100mω
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电阻测量速度
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25µs
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零点及满程误差校正
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外接标准电阻板软件自动校正
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探针定义
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可编程任意设定
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探针板运动
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计算机程序控制 |
本产品的加工定制是是,品牌是三工光电,型号是SFT310,种类是调制转换器,波段范围是近红外,运转方式是重复脉冲式,激励方式是光泵式,工作物质是自由电子,光路径是内光路,输出形式是功率型,传输信号是高线性型,速度是高速,通道是多通道,输出波长是1064(nm),线宽是小于6μm(mm)