TFT无尘车间工程设计建造

 先进的生产方法通常要求非常洁净的空气环境，很多情况下，空气要求还可能更加严格。led和薄膜晶体管彩色液晶显示器（tft-lcd） 的生产工艺较复杂，技术难度和成本均较高，对生产环境要求也较高，其工艺过程薄膜晶体管有矩阵工艺与大规模集成电路生产工艺相似;

平板显示的特点是：这种显示的装置本身就是一块平板，没有一般显示器中的电子束管，作为大屏幕显示时不存在投射距离问题，因此，是一种比较理想的显示。由于它多采用矩阵控制，所以又叫做矩阵控制平板显示或简称为矩阵显示。它所控制的显示材料有：场致发光材料、发光二极管、等离子、液晶等。平板显示的生产工艺对环境的空气洁净度等级、温湿度、防微振和高纯物质的供应等均有较严格的要求：生产环境要有一万级到十万级的净化车间，并且对温度和湿度都有明确控制；各洁净室空气洁净度等级：控制粒子粒径为0.3μm。

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