Huace-4简易探针台 可用于6英寸以内样品测试 单筒显微镜/体式显微镜

Huace-4简易探针台

简易探针台

     探针台是一种辅助执行机构，测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台（chuck）上，在显微镜配合下，X-Y移动器件，找到需要探测的位置。接下来测试人员通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮，控制前部探针（射频或直流探针），精准扎到被测点，从而使其讯号线与外部测试机导通，通过测试机测试人员可以得到所需要的电性能参数。

技术参数

台体规格

尺寸：4英寸/6英寸；
水平旋转：可360°旋转，可微调15°，精度0.1°，带角度锁死装置；

X-Y移动行程：2英寸×3英寸；

X-Y移动精度：10μm；
样品台Z轴调节：可升降10mm；
样品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环；
针座平台：左右各一个针座平台，可放置6个探针座；
背电极测试：样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极；
外形尺寸：400mm长*380mm宽*500mm高；
设备重量：约20KG；

光学系统

显微镜类型：单筒显微镜/体式显微镜；
放大倍率：16X-200X；
移动行程：水平方向绕立柱360°旋转，Z轴50.8毫米；
光源：外置LED无极调节亮度环形光源；
CCD：200万像素/500万像素/1200万像素；

定位器

X-Y-Z移动行程：12mm*12mm*12mm；
移动精度：10μm/2μm/0.7μm/0.5μm；
吸附方式：磁力吸附，真空吸附；
线缆：同轴线/三轴线；
漏电精度：10pA/100fA/10fA；

固定探针：弹簧固定/管状固定；
接头类型：BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子；
针尖直径：0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm；
针尖材质：钨钢；铍铜；

可选配件：
显示器；
转接头；
射频测试配件；
屏蔽箱；

光学平台；
镀金卡盘；
光电测试配件；

产品特点及应用

◆满足I-V/C-V，PIV测试，光电测试等；

◆ 可用于6英寸以内样品测试；

◆ 同轴丝杠传动结构，线性移动；

◆ 可放置于手套箱内使用；

◆ 形状轻巧，操作方便，价格实惠。