沈阳和研ds610精密划片机(精密切割机)主要技术参数
配置与性能
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1
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加工尺寸
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≤160mm×160mm 或 φ6′
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2
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切槽深度
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≤4mm 或 定制
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3
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切槽宽度
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≤刀片厚度+10μm(开槽深度小于1mm时)
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4
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工作台平整度
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±0.005mm/100mm
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5
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对准系统
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单筒显微镜+ccd; 30~150x
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6
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控制系统
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ipc
based
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空气静压主轴
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1
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额定工作气压
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0.55mpa
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2
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转速范围
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max40000rpm
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3
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输出功率
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1.25kw
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x轴(驱动工作台左右运动)
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1
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驱动方式
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伺服电机
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2
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工作台左右行程
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240mm
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3
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行程分辨率
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0.001mm
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4
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速度设定范围
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0.1~400mm/s
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y轴(驱动主轴前后运动)
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1
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驱动方式
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步进电机+光栅闭环控制系统
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2
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主轴前后行程
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170mm
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3
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行程分辨率
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0.0005mm
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4
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单步定位精度
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≤0.003mm/5mm
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5
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全程定位精度
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≤0.005mm/170mm
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z轴(驱动主轴上下运动)
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1
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驱动方式
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步进电机
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2
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主轴上下行程
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30mm
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3
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行程分辨率
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0.001mm
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4
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重复定位精度
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0.002mm
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θ轴(驱动工作台转动)
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1
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驱动方式
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伺服电机
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2
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正反转范围
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360°任意
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3
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转角分辨率
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0.0005°(1.8′)
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4
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重复定位精度
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±3.6′
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其它
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1
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温湿度
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15~28℃;湿度<80%,无凝结
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2
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电源
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单向,ac 220v±10%,3.0kw
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3
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压缩空气
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压力0.6mpa; 流量300l/min
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4
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冷却水
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压力0.3mpa; 流量3.0l/min
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5
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外形尺寸w×d×h
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665mm×960mm×1650mm
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6
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重量
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500kg
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