全国四氟化碳R14
更新时间:2013-04-11 17:59:42 信息编号:2412147 发布者IP:119.40.12.170 浏览:82次- 供应商
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产品详细介绍
四氟甲烷,亦称四氟化碳、全氟化碳,pfc-14(r-14)。分子式:cf4。相对分子量:88.00。在常温下,四氟甲烷是无色、无臭、不燃,不溶于水的可压缩性气体。沸点:-128℃,熔点:-183.6℃。液体密度(-130℃)1.613g/cm3,临界温度-45.67℃,临界压力3.74mpa,蒸气压(-150.7℃)13.33kpa,介电常数(25℃,0.5mpa)1.0006。挥发性较高,是Zui稳定的有机化合物之一,在900摄氏度时,不与钢、镍、钨、钼反应,仅在碳弧温度下缓慢分解,微溶于水,在25摄氏度及0.1mpa下其溶解度为0.0015%(重量比),然而与可燃性气体燃烧时, 会分解产生有毒氟化物,危险性类别为第2.2类不燃气体。
用途
四氟甲烷是目前微电子工业中用量Zui大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟甲烷高纯气配高纯氧气的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、超低温制冷剂、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
包装:钢瓶(14mpa)(dot-3aa gb-5099) 阀门(cga-580/590,qf-2)
32kg/48.8l 30kg/43.3l 205kg/4l,7kg/瓶
储运:危险性类别 第2.2类不燃气体,储存于阴凉干燥处
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产地/产商:北京