产商/产地 | 天津 | 产品等级 | 工业级 |
含量 | 99.95(%) | 执行质量标准 | 国标 |
CAS | 10025-78-2 |
trichlorosilane三氯氢硅(sihcl3)
total purity纯度:>99.95%
vapor phase impurities
气相杂质
contaminants 杂质 |
specifications 规格 |
|
fe |
铁 |
<5 ppb |
cr |
铬 |
<2 ppb |
mn |
锰 |
<0.2 ppb |
ni |
镍 |
<1 ppb |
al |
铝 |
<1 ppb |
mo |
钼 |
<1 ppb |
cu |
铜 |
<0.05 ppb |
co |
钴 |
<0.02 ppb |
b |
硼 |
<0.06 ppb |
p |
磷 |
<0.01 ppb |
o |
氧 |
<1 ppm |
resistivity |
resistivity电阻系数 |
>800 ohm-cm |
standard package information
包装规格
cylinder type气瓶规格 |
cmc |
fill weight充装量(kg) |
cmc |
valve connection阀门(cga) |
cmc |