真空溅射镀膜电源
更新时间:2016-08-20 22:58:17 信息编号:2082199 发布者IP:49.75.93.90 浏览:115次- 供应商
- 苏州韦特克斯电子科技有限公司 商铺
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- 于洪波 请说明来自顺企网,优惠更多
产品详细介绍
产品简介 本公司生产的真空镀膜电源(真空蒸发镀膜电源和真空溅射镀膜电源)
有以下特点:1、恒压,恒功率
2、抑制靶材弧光放电及抗短路功能, 具有的负载匹配能力。
3、工艺重复性好。
4、提高成膜速度, 实现高质量的溅射膜层。
技术参数 品名 真空镀膜电源
型号 SPWM系列
输入 相数 单相或三相
电压 220/380V
频率 50Hz
输入方式 4线(含地线)
输出 波形 直线
功率 30KW /60KW /100KW(可定制)
电压 0—1200V(可定制)
稳定度 ≤1%
电流 0—200A(可定制)
稳定度 ≤1%
纹波及杂讯 ≤5%或≤3%
效率 ≥90%
控制 功率 可选择
电压 恒压控制,可本地控制也可通过0-10V或4-20mA
电流 可选择
保护 具备缺相、过热、限压、恒功率、过压、过流、短路、超载等保护功能
冷却 风冷
外型 外壳
尺寸(W*D*H) 482.6mm*600mm*266.7mm(30KW)
重量 30KG(30KW)