汉钟螺杆式真空泵汉钟PS602汉钟PS1302
更新时间:2014-10-17 11:52:52 信息编号:1692925 发布者IP:183.13.209.62 浏览:139次- 供应商
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产品详细介绍
汉钟干式真空泵
包括台湾汉钟干式螺杆式真空泵和台湾汉钟干式多级罗茨真空泵
pdr系列
包括机型 汉钟真空泵 pdr100 , 汉钟真空泵 pdr602, 汉钟 真空泵 pdr1202
上海汉钟干式真空泵 ps系列
包括机型 汉钟真空泵ps80 ,汉钟真空泵ps160,汉钟真空泵 ps180,汉钟真空泵 ps602,汉钟真空泵
ps1202
台湾汉钟真空泵ps系列产品特点
螺旋真空泵浦产品特色
汉钟精机ps系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一对互相咬合的螺旋转子,在转子间维持微小的间隙,使得真空泵浦运转时腔体内无需润滑,因而无油气回漏污染的问题。透过专利转子线形良好的密封效果,压力可达7.5×10-3torr。螺旋式真空泵浦由于排气路径短,粉尘移除能力较其他型式的真空泵浦强,加上转子表面披覆特殊材质的镀膜,因此可适用于pecvd、etching等严苛制程。
泵浦温度控制精准
汉钟精机ps系列干式螺旋真空泵浦,承袭上一代真空泵浦优良的转子设计,同时改善壳体的冷却方式,采用水套间接水冷的方式来降低壳体的温度,能够更精准地控制泵浦内部温度,减少沉积物的产生,增加真空泵浦的寿命。
密封马达安全性高
ps系列真空泵浦亦全面采用专利设计的水冷罐装密封马达,除了能维持更低的马达运转温度增加马达的寿命外,也可完全避免制程气体外漏的风险。
微电脑控制保护周全
ps系列真空泵浦亦可配备微电脑控制器,可同时监控马达电流、马达温度、壳体温度、冷却水流量、氮气流量以及齿轮箱油位高低,提供真空泵浦完整的安全性保护,十分适用于光电、半导体、太阳能与tft-lcd等产品稳定性要求极高之产业。