四氟化碳 六方 液体(元)
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- 苏州工业园区六方工业气体有限公司 商铺
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- 型号/牌号
- 六方
- 状态
- 液体(元)
- 产商
- 中国
- 所在地
- 中国 江苏 苏州市 苏州工业园区跨塘分区富达路一号
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产品详细介绍
型号/牌号 | 六方 | 状态 | 液体(元) |
产商 | 中国 | 用途级别 | 四氟化碳 |
含量 | 99.999(%) | 执行质量标准 | 国标 |
CAS编号 | 75-73-0 | 品牌 | 六方 |
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四氟化碳是目前微电子工业中用量Zui大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合体,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻。对于硅和二氧化硅体系,采用cf4-h2反应离子刻蚀时,通过调节两种气体的比例,可以获得45:1的选择性,这在刻蚀多晶硅栅极上的二氧化硅薄膜时很有用。
在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
由于化学稳定性极强,cf4还可以用于金属冶炼和塑料行业等。
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