NSC-4000（A）全自动磁控溅射系统
更新时间：2022-09-15 10:50:00 信息编号：15085199 发布者IP：101.93.79.223 浏览：31次
- 供应商
- 上海耀他科技有限公司 商铺
- 认证
- 资质核验：已通过营业执照认证入驻顺企：第2年主体名称：上海耀他科技有限公司组织机构代码：91310114MABTYCA99H
- 报价
- 请来电询价
- 品牌
- 那诺-马斯特
- 型号
- NSC-4000（A）
- 产地
- 美国
- 关键词
- 磁控溅射,磁控溅射系统,磁控溅射设备,进口真空镀膜仪,Sputter
- 所在地
- 上海市嘉定区菊园新区环城路2222号6幢101室JT4602（注册地址）
- 联系电话
- 021-62318025
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- 联系人
- 张经理 请说明来自顺企网，优惠更多
产品详细介绍
NSC-4000（A）全自动磁控溅射系统概述：带有水冷或者加热(可加热到700度)功能，可达到6"旋转平台，支持到4个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵，极限真空可达10-7 Torr，15分钟内可以达到10-6 Torr的真空。通过调整磁控管与基片之间的距离，可以获得想要的均匀度和沉积速度。
NSC-4000（A）带有14”立方形不锈钢腔体，4个2”的磁控管，DC直流和RF射频电源。 在选配方面，350 l/s涡轮分子泵，额外的磁控管和衬底加热功能。
NSC-4000（A）全自动磁控溅射系统产品特点：
不锈钢腔体
260l/s或350l/s的涡轮分子泵，串接机械泵或干泵
13.56MHz，300-600W RF射频电源以及1KW DC直流电源
晶振夹具具有的<1 ?的厚度分辨率
带观察视窗的腔门易于上下载片
基于LabView软件的PC计算机控制
带密码保护功能的多级访问控制
完全的安全联锁功能
预真空锁以及自动晶圆片上/下载片
选配项：
RF、DC溅射
热蒸镀能力
RF或DC偏压（1000V）
样品台可加热到700°C
膜厚监测仪
基片的RF射频等离子清洗
应用：
晶圆片、陶瓷片、玻璃白片以及磁头等的金属以及介质涂覆
光学以及ITO涂覆
带高温样品台和脉冲DC电源的硬涂覆
带RF射频等离子放电的反应溅射
相关产品：磁控溅射 , 磁控溅射系统 , 磁控溅射设备 , 进口真空镀膜仪 , Sputter
主要经营：各类真空镀膜微纳加工设备，包括薄膜沉积、刻蚀及清洗去胶设备等（ALD，PECVD，RIE，磁控溅射，热蒸镀，电子束，离子束，热真空试验，晶圆清洗机，PA-MOCVD）
那诺-马斯特中国有限公司成立于2015年4月，是服务大中华区(包含中国大陆，香港，台湾和澳门)的客户，同时我们在中国大陆设有专门的服务办公室（上海耀他科技有限公司），提供销售和售后技术服务。那诺-马斯 ...
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