NSC-4000(A)全自动磁控溅射系统
更新时间:2022-09-15 10:50:00 信息编号:15085199 发布者IP:101.93.79.223 浏览:39次- 供应商
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- 认证
- 资质核验:已通过营业执照认证入驻顺企:第3年主体名称:上海耀他科技有限公司组织机构代码:91310114MABTYCA99H
- 报价
- 请来电询价
- 品牌
- 那诺-马斯特
- 型号
- NSC-4000(A)
- 产地
- 美国
- 关键词
- 磁控溅射,磁控溅射系统,磁控溅射设备,进口真空镀膜仪,Sputter
- 所在地
- 上海市嘉定区菊园新区环城路2222号6幢101室JT4602(注册地址)
- 联系电话
- 021-62318025
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产品详细介绍
NSC-4000(A)全自动磁控溅射系统概述:带有水冷或者加热(可加热到700度)功能,可达到6"旋转平台,支持到4个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵,极限真空可达10-7 Torr,15分钟内可以达到10-6 Torr的真空。通过调整磁控管与基片之间的距离,可以获得想要的均匀度和沉积速度。
NSC-4000(A)带有14”立方形不锈钢腔体,4个2”的磁控管,DC直流和RF射频电源。 在选配方面,350 l/s涡轮分子泵,额外的磁控管和衬底加热功能。
NSC-4000(A)全自动磁控溅射系统产品特点:
不锈钢腔体
260l/s或350l/s的涡轮分子泵,串接机械泵或干泵
13.56MHz,300-600W RF射频电源以及1KW DC直流电源
晶振夹具具有的<1 ?的厚度分辨率
带观察视窗的腔门易于上下载片
基于LabView软件的PC计算机控制
带密码保护功能的多级访问控制
完全的安全联锁功能
预真空锁以及自动晶圆片上/下载片
选配项:
RF、DC溅射
热蒸镀能力
RF或DC偏压(1000V)
样品台可加热到700°C
膜厚监测仪
基片的RF射频等离子清洗
应用:
晶圆片、陶瓷片、玻璃白片以及磁头等的金属以及介质涂覆
光学以及ITO涂覆
带高温样品台和脉冲DC电源的硬涂覆
带RF射频等离子放电的反应溅射
相关产品:磁控溅射 , 磁控溅射系统 , 磁控溅射设备 , 进口真空镀膜仪 , Sputter
主要经营:各类真空镀膜微纳加工设备,包括薄膜沉积、刻蚀及清洗去胶设备等(ALD,PECVD,RIE,磁控溅射,热蒸镀,电子束,离子束,热真空试验,晶圆清洗机,PA-MOCVD)
那诺-马斯特中国有限公司成立于2015年4月,是服务大中华区(包含中国大陆,香港,台湾和澳门)的客户,同时我们在中国大陆设有专门的服务办公室(上海耀他科技有限公司),提供销售和售后技术服务。那诺-马斯 ...
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