品牌 | DNR | 型号 | DNRGSL系列 |
大电压 | 380(V) | 功率 | 5KW(W) |
额定温度 | 1600(℃) | 主要用途 | 广泛适用于高、中、低温CVD工艺,例如:碳纳米管的研制、晶体硅基板镀膜、纳米氧化锌结构的可控生长等等;也可适用于金属材料的扩展焊接以及真空或保护气氛下热处理。 |
应用领域:
真空气氛管式炉(管式炉、实验电炉、高温电炉)广泛适用于高、中、低温cvd工艺,例如:碳纳米管的研制、晶体硅基板镀膜、纳米氧化锌结构的可控生长等等;也可适用于金属材料的扩展焊接以及真空或保护气氛下热处理。
主要特点:
真空气氛管式炉(管式炉、实验电炉、高温电炉)采用高纯石英管或刚玉管作为内炉膛。可拆卸式的三面密封方式,具有良好的洁净度和真空度;耐火,保温材料全部采用先进的轻质纤维制品,整机质量轻、能耗低;真空气氛管式炉(管式炉、实验电炉、高温电炉)加热元件采用u型硅铝(碳)棒或原装进口电阻丝;本系列真空气氛管式炉(管式炉、实验电炉、高温电炉)温控系统采用进口多段智能程序温度控制仪控制,温度控制具有良好的稳定性、重复性。
技术指标:
高温度 |
1050℃ |
1300℃ |
1650℃/1000℃ |
1650℃ |
|
使用温度 |
rt—1000℃ |
850-1300℃ |
1000-1600℃ |
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控制精度 |
±1.5℃ |
±1.5℃ |
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温区个数 |
3个 |
1个 |
2个 |
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加热区长度 |
600mm |
300mm |
500mm(300mm/200mm) |
500mm |
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炉管尺寸 |
ф60(外径)×1400(mm) |
ф60(外径)×1000(mm) |
ф70(外径)×1450(mm) |
ф90(外径)×1450(mm) |
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炉管材料 |
石英管 |
刚玉管 |
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发热元件 |
进口电阻丝 |
电阻丝/硅碳棒 |
硅钼棒、电阻丝 |
硅钼棒 |
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大装机功率 |
4.5kw |
3kw/8kw |
10kw |
12kw |
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cvd-□□□ 选件功能 |
/□ |
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v |
真空系列:单级机械泵+扩散泵机组 |
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q |
气氛系统:浮子流量计;进口/国产质量流量计 |
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备注:以上设备系统具备冷态极限真空6.67×10-2pa接口条件;其他特殊工艺要求的订货时请说明。 价格根据工艺要求不同价格不同。 |