品牌 | 日新(risine) | 型号 | CVD(D)-06/30/1-C |
Zui大电压 | 380(V) | 功率 | 6kw(W) |
额定温度 | 1000(℃) | 主要用途 | 广泛适用于高、中、低温CVD工艺,例如:碳纳米管的研制、晶体硅基板镀膜、纳米氧化锌结构的可控生长等等;也可适用于金属材料的扩展焊接以及真空或保护气氛下热处理 |
应用领域:
cvd系列真空气氛管式炉广泛适用于高、中、低温cvd工艺,例如:碳纳米管的研制、晶体硅基板镀膜、纳米氧化锌结构的可控生长等等;也可适用于金属材料的扩展焊接以及真空或保护气氛下热处理.
产品特点:
高温cvd系列管式炉专门设计用于高温材料沉积之用。 硅钼棒加热、刚玉炉管炉膛, 可预抽真空,便于通入参加反应的气体,进口单回路智能温度控制仪控制、温区设计隔板结构。具有温度均匀、控制稳定、温区间温度扰动小、升温速度快、节能、使用温度高、寿命长等特点,是理想的科研设备。
技术指标:
设备型号 |
cvd(d)-06/60/3
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cvd(z)-06/30/1
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cvd(g)-07/50/2
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cvd(g)-09/50/1
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Zui高温度 |
1050℃
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1300℃
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1650℃/1000℃
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1650℃
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使用温度 |
rt—1000℃
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850-1300℃
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1000-1600℃
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1000-1600℃
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控制精度 |
±1.5℃
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±1.5℃
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±1.5℃
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±1.5℃
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温区个数 |
3个
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1个
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2个
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1个
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加热区长度 |
600mm
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300mm
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500mm(300mm/200mm)
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500mm
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炉管尺寸 |
ф60(外径)×1400(mm)
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ф60(外径)×1000(mm)
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ф70(外径)×1450(mm)
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ф90(外径)×1450(mm)
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炉管材料 |
石英管
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刚玉管
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刚玉管
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刚玉管
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发热元件 |
进口电阻丝
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电阻丝/硅碳棒
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硅钼棒、电阻丝
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硅钼棒
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Zui大装机功率 |
4.5kw
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3kw/8kw
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10kw
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12kw
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cvd-□□□ 选件功能 |
/□
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/□
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v
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真空系列:单级机械泵+扩散泵机组
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q
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气氛系统:浮子流量计;进口/国产质量流量计
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备注:以上设备系统具备冷态极限真空6.67×10-2pa接口条件;
其他特殊工艺要求的订货时请说明。
价格根据工艺要求不同价格不同,具体请联系:张经理,0551-5583095;
13866734967
具体详细技术参数请参照合肥日新高温技术有限公司企业门户网站:www.risine.com
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