品牌 | 纽曼和瑞微波 | 型号 | HMG |
产品别名 | 微波发生器 | 用途 | 用与CVD金刚石和类金刚石膜、微波等离子体刻蚀、陶瓷烧结、ECR离子源以及其它系统中所需的微波源。 |
技术特点
●该系列微波源可提供:1kw,2kw,3kw,5kw,10kw,五种型号的产品,都采用大功率水冷磁控管,性能先进,工作可靠。
●系统控制采用单片机与调整管和辅助线圈组成的自控设计方案,同时运用灯丝降压线路,实现微波输出功率低波纹,连续可调,它具有稳定性高,寿命长,保护措施完善,操作简单等特点。
●系统提供手动和编程两种控制方式,并使用数码显示器分别显示输出功率,反射功率和工作时间。
●本产品广泛地用与cvd金刚石和类金刚石膜、微波等离子体刻蚀、陶瓷烧结、ecr离子源以及其它系统中所需的微波源。
●系统可根据要求自行选配环行器、电动销钉、水负载、定向耦合器等匹配组件。
技术指标 |
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型号 |
hmg-2010 |
hmg-2020 |
hmg-2030 |
hmg-2050 |
hmg-2100 |
工作频率 |
2450mhz±15mhz |
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输出功率 |
0.1~1kw |
0.2~2kw |
0.3~3kw |
0.5~5kw |
1~10kw |
功率稳定度 |
±1%(满功率时) |
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功耗 |
2kw |
3kw |
4.5kw |
8kw |
15kw |
电源 |
308vac±5%/50mhz三相四线 |
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冷却水 |
<3l>/min |
<3l>/min |
<4l>/min |
<4l>/min |
<6l>/min |
输出波导 |
bj-26带fd-26法兰 |
bj-22带fd-22法兰 |
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磁控管功率头 |
外置 |
内置 |
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微波泄漏 |
符合国家标准 |