实验用多晶硅熔化炉 上海晨华
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- 上海晨华电炉有限公司 商铺
- 认证
- 资质核验:已通过营业执照认证入驻顺企:第10年主体名称:上海晨华电炉有限公司
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- 品牌
- 上海晨华
- 型号
- ZG-3D
- 所在地
- 上海市嘉定区黄渡绿苑路488号莱英国际505室
- 联系电话
- 021-39180387
- 手机号
- 18016222976
- 销售工程师
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产品详细介绍
品牌 | 上海晨华 | 型号 | ZG-3D |
本设备为上、下二炉体组成,适用于多晶硅熔化提纯及定向凝固之用。
二、使用参数
设备功率:40kw熔化炉、30kw保温炉
坩埚容量:3kg
熔化炉Zui高温度:1800℃
保温炉Zui高温度:1500℃
极限真空度:6.67×10-3pa
定向凝固速度:3-30mm/小时
三、结构说明
设备由上、下二炉体组成,上炉体为熔化提纯炉,下炉体为保温定向凝固炉,二炉之间有流槽
熔化采用高频感应、保温采用石墨电阻加热。
真空系统由油扩散泵、罗茨泵、机械泵组成,上下二炉体可共用一套真空系统。
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