品牌 | 索佳真空 | 型号 | 1200 |
适用范围 | 光学镜片 | 产品别名 | 光学镀膜机 |
电镀电源 | 直流电源 | 电镀位置 | 轮镀 |
镀种 | 镀银系列 |
真空蒸镀室:不锈钢制造,立式前开门,外壁通冷却水,内衬不锈钢防污板
真空系统:可选扩散泵系统、涡轮分子泵系统或低温泵系统
蒸发源:有电阻加热蒸发源或电子束蒸发源
工件烘烤:可选碘钨灯加热、电阻丝加热或管状加热器;方式有上往下烘烤或下往上烘烤
工转装置:有上驱动或下驱动机构;密封可采用普通或磁流体密封
工件架:可选球面帽形、扇形、行星式、翻转式、平面夹具等形式
光学膜厚控制系统:由光路、光源、单色仪、、光学膜厚监控仪、比较片机构等组成
晶体振荡膜厚控制系统:晶体膜厚监控仪、石英传感器等
充气系统:压力控制、气体质量流量控制
电气控制系统:大板结构、模块设计、进口器件;可靠性高、易操作、易维护
离子辅助镀:可选配国产或进口离子源提高成膜特性