半导体行业用石墨 99.997（%）

si单结晶体拉晶用加热器、坩埚

硅单结晶体的拉晶机（cz法）需要使用高纯度的石墨。为了制造大型、优质的硅单结晶体，东海 采用cip材料（冷等静压法）制造大型各向同性高纯度石墨，可满足大规模集成半导体生产的需要。
产品特点
高纯度…有害元素极少，适合大规模集成使用。
高密度…高密度且微粒子构造可确保与硅气体反应小，可以获得长使用寿命。
尺寸齐备…可根据硅单结晶体的直径提供各种尺寸的产品。
多用性…根据客户的规格要求进行设计。

晶片处理用部件

石墨作为低原子序数材料，对离子、等离子具有较强的抵抗力，此外具有高纯度化不会产生有害元素的特长。因其可以在恶劣条件下使用而备受关注。
等离子cvd用部件
等离子vcd用感受器、电极室、喷嘴、内衬、离子束用坩埚、溅射用电极、movcd感受器等。

探索碳素的新功能
碳素的缺点主要是气孔、粒子，为了克服这些问题，东海的sic涂层材料，是兼具了石墨原有的特长和成膜特性的新型功能材料。
从基材到涂层品的一条龙生产体制以达到质量要求为目标，将的特性全部发掘出来，将基材的粒子、气孔、热膨胀特性和成膜特性予以调整，孕育出各种产品。
出色的通用性
以基材、涂层、加工一条龙的生产体制为基础，可根据客户的规格要求进行设计。
产品
cz用部品、各种感受器部品、sic涂层品
根据不同的需求，可选择以往的cvd sic涂层石墨或使用东海特有技术新开发的cvi sic涂层石墨，可用于各种用途。

*sic涂层的代表性测量值和杂质测量值清参考固体sic产品介绍。

产品特性
超高纯度
出色的耐化学性
较少的金属扩散
无除气性
具有理论密度（β-sic）

用途
晶片装载器
感应器
假晶片
导环
刻蚀系统等部件

产品特性
强度重量比大
出色的耐热性和抗热冲击阻力
较小的热膨胀系数
较低的导热率（耐热钢的1/3）
高纯度
与金属相比重量轻，高温下强度不会降低

用途
拉晶机部件
高温炉构造部件
加热器等