无油螺杆真空泵 干式螺杆真空泵机组

干式螺杆真空泵概述

       利用空间站气体复用技术研制的干式真空泵，其核心技术为一对精密加工的螺旋状转子，利用静压缩原理，两个转子通过一对高精度的同步齿轮保持相向的无摩擦转动，持续将被抽气体从进气口吸入，并沿轴向运输压缩，从排气口排出。可广泛应用于电子行业、制药行业、 航天航空、核工业、石油化工、油气回收系统等领域。

干式螺杆真空泵主要特点

极限真空度高：单泵可从大气压抽至极限压力1Pa以下，抽气速率高，可大大简化真空系统。

节能兼具环保：运行稳定、低震动、低功耗、无废水、废油产生。

制程洁净度高：泵腔内无油无水，制程不受水汽油分子污染，可获得洁净的真空环境。

工艺处理能力强：具有强大的粉尘处理能力，标配吹扫保护功能，可以延长真空泵在苛刻工艺中的寿命。

应用范围广：腔体及螺杆转子表面有特殊防腐涂层（全系列标配），可适用更宽泛的吸入介质。