激光切割机 伊斯托克 数控

“karavella”材料加工设备——使用铜蒸发气体激光的自动化工艺装置

用途：薄板材料（0.005~3mm）的精密加工

可加工材料类型：

n 高熔点金属（ w、mo、ta）及其合金；

n 导热材料（cu、ag、al、au）及其合金；

n 钢和其它金属；

n 半导体及电介质；

n 多晶状金刚石；

n 透明材料。

所执行的加工形式：

n 精密切割；

n 微细钻孔；

n scribe；skribe

n 表层变形；

n 在透明介质上形成图像；

装置组成：

n 按照“发生器-放大器”形式组成的“kulon-154”型铜蒸发气体激光器；

n 运动和控制装置；

n 光束形成、指向、向加工区域聚焦的光学系统；

n 工艺箱；

n 将工艺气体吹向加工区域的吹气系统；

n 从加工区域清除残质的系统；

n 承载结构。

优点：

工艺优点：

n 无接触加工；

n 加工点尺寸小（10~40微米）；

n 蒸发式加工（液相状态Zui少）；

n 切割面不平整度低（≤1~3微米）；

n 热作用区域小（≤5~10微米）；

n 加工精度高（4~20微米）；

n 不引起材料起层和开裂；

n 效率高（加工速度=1~10微米/秒）

设计优点：

n 光束功率中断的高速电子系统；

n 应用了主动式激光放大器件的观察系统；

n 主动式激光器件参数的可重复性和稳定性高；

n 寿命长，可方便地更换主动式激光器件；

n 装置调试简单。

上述优点由以下各方面来保证：

n 激光光束可按脉冲式和按脉冲包式进行调制；

n 开焊式铜蒸发气体主动式激光器件；

n 应用了igbt晶体管作开关器件的激光电源；

n 在材料精密加工领域应用铜蒸发气体激光的多年经验。

适合应用领域：

n 电子工业：电子真空器件的栅极、电极以及其它零件加工，散热器加工，人工金刚石元件加工，片基分离。

n 仪表：膜、矩阵及其它结构器件的加工；给工具作标志。

n 汽车工业：发动机喷油嘴及热传感器的加工。

n 化学工业：喷丝头生产，产品精密标志。

n 医药业：过滤器、导液管、探针、血管扩展器。

n 珠宝业：贵重材料切裁和加工，礼品加工，在透明材料上添加图像等等。

技术特性

辐射波长：510.6纳米和578.2纳米；

光束直径：14mm；

辐射平均功率：不小于12~15w；

脉冲重复频率：13~14khz；

辐射脉冲宽度（按0.5幅度）：10±1纳秒；

在8小时内的平均功率不稳定度：不大于5%;

脉冲能量：0.1~1毫焦；

光束散度：0.1~0.3毫弧；

物镜焦距：70（50，100，150，200）mm；

工作光点直径：10~40微米；

坐标平台在xy面上的位移：150x150mm；

坐标平台沿z轴的位移：600mm；

坐标平台移动Zui大速度：20mm/s；

在（20±1）℃时每个轴上的定位误差：±2微米；

观察系统放大倍数：300倍；

准备时间：不大于60分钟；

不间断工作时间：无限制；

三相电网耗散功率：不大于5kw；

水流量（水-水交换系统）：20~25升/分钟；

外形尺寸及占地面积：3000x1700x1350mm；7m2；

质量：不大于1150kg；

不进行主动式器件更换时的保证寿命：大于1500小时；

在主动式器件更换时装置的平均恢复时间：不大于3小时。

精密加工结果

1. 0.2mm厚的钨（w）片上的槽（标注尺寸40微米-0.005）；

2. 0.6mm厚的（мд-80型）合金上的孔（标注尺寸0.5mm-0.01）；

3. 0.3mm厚的（мb型）铜上的孔（标注尺寸0.4mm-0.004）；

4. 0.07mm厚的（мч型）钼上的球面状栅网片断（标注尺寸0.14mm-0.01）；

5. 0.35mm厚的多晶状金刚石切割；

6. 1mm厚的硅片切割；