氦气真空检漏仪 Leybold

phoenixl300

phoenixl300dry

phoenixl300mudul

　Zui小可检漏率（真空模式）

mbar.l/s

　<5x10-12

　<3x10-11

　<5x10-12/<8x10-12

　Zui小可检漏率（吸枪模式）

mbar.l/s

　<1x10-7

　<1x10-7

　<1x10-8

　Zui大可检氦漏率（真空模式）

mbar.l/s

　>0.1

　>0.1

　>0.1

　抽气口允许Zui大压强

　mbar

　15

　15

　15

　分流方式下抽气口允许Zui大压强

　mbar

　1000

　设计名义抽速

　m3

　2.5(50hz)

　3(60hz)

　1.6(50hz)

　1.8(60hz)

16/20(50/60hz)d16b

25/30(50/60hz)d25b

30/36(50/60hz)scroll

　对氦的抽速

　l/s

　>2.5

　>2.5

　>2.5

　带d16b泵时的分流抽速

　l/s

　16(50hz)

　带d25b泵时的分流抽速

　l/s

　25(50hz)

　氦信号的反应时间

　s

　<1

　<1

　<1

　检漏仪启动时间

　min

　<2

　<2

　<2

　质谱室

1800扇形偏转磁场

　可检质量数

　amu

　4;3;2

　4;3;2

　4;3;2

　继电器输出

　4

　4

　4

　sps输入

　6

　6

　6

　测试口连接方式

　dn25kf

　手持遥控连接线长度

　m

　4(Zui长32)

　4(Zui长32)

　4(Zui长32)

　功耗

　va

　420

　350

　350

　尺寸

　mm

495x456x314

　495x456x314

　495x456x314

　重量

　kg

　40

　37.5

　29