BROOKS气体质量流量计/控制器 原装进口美国布鲁克斯流量计 BROOKS5850E价格

BROOKS5850E产品特点：

1：期零点稳定性，每年变动小于满量程的 0.2%能够根据命令变化迅速进行流量响应并且过冲/下冲可忽略不计

2：流量范围宽 - 从3 sccm 一30 slpm

3：耐高压等级 - 高达 1,500 psi

4：可拆卸式流量传感器

5：不受安装角度影响

6：能和其他质量流量控制器在机械和电气设计方面兼容

7：电驱动阀超调

8：耐化学腐蚀阀门

技术参数：

流量范围-满量程容量：3sccm - 1000 slpm

精度：±1% of FS （1.5% of FS > 20 slpm）

重复性：0.25% of Rate

线性Included in accuracy：0.25% of Rate

响应时间-常闭 ：  E Series Controllers: < 3 seconds Meters: 6 Seconds

压力范围Controllers: 1500 psig Meters: up to 4500 psig on some models

控制范围：50:1

零点稳定性：< 0.2% F.S. per year

输入和输出:  0-5 Vdc

电源：±15Vdc