CW2010—Z轴测量显微镜

2010年测维光电成功研发出一整套显微测量系统，为我国显微数码成像行业的发展，尽一份绵薄之力，我们相信测维的明天更美好！

全部显微镜系统由进口件经测维工厂精心组装而成，其光学品质达到国外同功能台式机水平，在技术上填补了国内这方面的空缺，又因为是整系列奉献所以不用再东拼西凑的组合成套，具有很优越的兼容性。工业级检查显微镜具明显的优势是专门为在线生产量身打造，攻克了目力观察的弊端和场地狭小的限制。提高了生产流水线的技术含量和整合品质。其超值的优越性是不言而喻的

一、特点:以影像法为测量原理, 采用光学焦点位置检测方式进行非接触高低差测量。不仅可以对准目标影像, 还能观察测量点的表面状态,对高度,深度,高低差等进行测量。本仪器的各种镜筒还具有明暗场，微分干涉，偏光的观察功能。所以对极细微的间隙高低差，夹杂物、微米以下的突起、细微划痕进行观察。

二、用途：适用于硅片、ic、lcd、tft、pcb、mems激光加工、晶片测试、半导体材料、线束加工蚀刻、液晶电池盖、导线框架等产品的检查观察.也适用于经过磨抛、化学处理的工件表面的金相组织结构，几何形状进行显微观测。并且有三维的计量功能，其解析率达0.0005mm。因此是精密零件，集成电路，半导体芯片，光伏电池，光学材料等行业的必用仪器。

三、主要规格

2.1 镜筒：铰链式三目头部 30°倾斜 270°旋转

2.2高眼点平场目镜: wf10x/22

2.3超长物距平场物镜：pll5x/0.12 wd 26.1， pll10x/0.25 wd 20.2， pll20x/0.40 wd 8.80， pll50x/0.7 wd 3.68。

2.4右倾式内定位5孔转换器

2.5 落射式照明系统： 卤素灯12v30w， 内置孔径光阑，五孔转盘滤色装置（黄、绿、蓝、磨砂）推拉式检偏器和起偏器。

2.6 调焦结构：粗微动同轴调焦, 带锁紧和限位装置 粗动升降范围30mm 微动格值 0.001mm*100格 数显解析值 0.0005mm。

2.7光源：卤素灯 亮度可调 6v30w（bd：12v50w）

2.8 普通透射照明：可选

2.9 z轴升降范围：手轮转动130mm 允许Zui高工件 130mm

x轴移动范围 200mm 解析率：0.001mm 可解锁手动快进

y 轴移动范围 100mm 解析率：0.001mm 可解锁手动快进

测量精度（3+l/100）mm (l: 被测长度)

落射光测量误差≤0.08%

3.0工作台尺寸: 360mm*250mm 玻璃板尺寸: 225mm *175mm 工作台承重: 30kg

3.1仪器外型尺寸：380mm*550mm*830mm

3.2净重：100kg 毛重：120kg