MX61-OLYMPUS奥林巴斯半导体检查显微镜

类型	偏光显微镜	品牌	OLYMPUS奥林巴斯
型号	MX61	仪器放大倍数	12.5X-1000X
目镜放大倍数	10X	物镜放大倍数	1.25X-1000X
重量	26Kg（g）	适用范围	电子元件、晶圆、硅片、电池片
装箱数	1

mx61-olympus奥林巴斯半导体检查显微镜

mx61l/ mx61, 300 mm/200 mm半导体检查显微镜通过各种观察方法--明视场法、暗视场法、微分干涉法（dic）、荧光法、红外线法和深紫外线法，保证了卓越的图像分辨率和鲜明度。

考虑了检查效率的设计 主要操作集中配置在前面板上

前面板 [1] 照明强度旋钮 [2] 物镜倍率切换 [3] 孔径光阑调节

在对比度的决定上起重要作用的孔径光阑（as）的开闭调节，与物镜的切换和观察模式连动，用一个按钮就可以操作。此外，用一个手指就可以调光的旋钮也配置在前面板上，从而提高了检查速度。物镜和孔径光阑（as）的按钮分别斜向配置，手不离开对焦手柄，只要轻动大拇指就可以操作。这个按钮的倾斜式设计提高了手指尖的感知度，能够防止错误操作。

观察姿势迅速到位的倾斜镜筒

倾斜镜筒示意图

为了适应视点而调整座椅的高度，或是以不合理的姿势进行检查的话会浪费时间，降低工作速度。但是，配备倾斜角度为0°～42°（可变高度为150 mm，semi s8对应）的倾斜镜筒，可采取与检查者体格无关的舒适观察姿势，甚至可以站立检查。此外，这一款镜筒拉长了从观察中心轴到观察者视点的距离，可以在较大的平台上轻松操作。

高灵敏度载物台可以迅速决定位置

内置离合器的载物台手柄

对应300 mm晶圆／17英寸面板的mx-sic1412r2载物台有较大的透射照明范围（y方向284 mm）。另外，内置离合器的载物台手柄，可切换粗调和微调。在显微镜观察的同时能自由地移动载物台，快速完成检查。

鲜明图像和卓越的分辨率为特点的光学系 多种选择可实现卓越的成像性能

物镜是涉及到样品的照明和观察的重要部件，奥林巴斯有应对多种多样的观察方法、长工作距离、红外光及lcd检查用的齐全的物镜产品阵容可供选择。

观察影像实例
明视场观察	暗视场观察	微分干涉观察	荧光观察

丰富的产品阵容，可按需选择
mplapon	平场复消色差透镜
mplfln	平场半复消色差透镜
mplfln-bd	明暗视场用平场半复消色差透镜
mplfln-bdp	反射偏振光用平场半复消色差透镜
lmplfln	长工作距离平场半复消色差透镜
lmplfln-bd	明暗视场用长工作距离平场半复消色差透镜
mpln	平场消色差透镜
mpln-bd	明暗视场用平场消色差透镜
slmpln	超长工作距离平场消色差透镜
lcplfln-lcd	液晶长工作距离平场半复消色差透镜

软件方案 实现数字成像

mx61l配备了pc界面，可以读取显微镜的电动功能。因此，捕获影像时可以自动保存物镜倍率，为日后处理和分析影像提供可靠的影像信息。

使用数码照相机记录和保存数码影像

三目镜筒可以安装数码照相机。可以保存和记录数码影像，帮助创建观察报告。可依据用途从图像质量、功能、使用方便性等方面选择数码照相机。

支持缺陷检测的多种功能 快速切换物镜，提高检查速度

电动物镜转换器示意图

电动物镜转换器的切换速度比原来提高了20%。物镜的切换，可以操作按钮瞬时间完成，提高了检查速度。三种洁净类型的物镜转换器可以按需选择。另外，uis2物镜大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸摄像元件的ccd摄像机，在切换倍率时也不会由视场中心附近偏离。

变换物镜，孔径光阑（as）也随之调节

as自动调节示意图

每次变换物镜时都需要调节孔径光阑（as）的话，会影响检查速度。mx61l对每个物镜都可以设置观察方法和as（14级），只要切换物镜就能以Zui合适的对比度进行观察。在变换物镜和切换观察模式时不再需要花时间调节as，提高速度的同时减轻了操作员的疲劳。

帮助实现多种观察的附件 安全快速的搬运晶圆

自动晶圆搬送机al110（200 mm规格）组合

mx61l能与自动晶圆搬送机组合，组合后的尺寸也被设计得很小。能够无接触、安全和快速的执行从内面的宏观检查到微观检查等多种任务。此外，晶圆盒还可以从前面轻松设置。如果使用选件的遥控器，那么不良晶圆的登录、开始和保存都可以在手中快速完成。

近红外线观察单元

由可见光线领域到近红外线领域的像差校正物镜，和红外线用超广角三目镜筒等，对应近红外线的装置备有各种型号。在晶圆凸出物接触面等的观察上发挥威力。

近红外线观察单元

粘合衬垫

荧光观察单元

在滑杆上追加镜子装置可以对应荧光观察。备有u.b.g激励的反射镜装置，可有效地检查和分析有机el和残留光刻胶。

荧光镜单元

荧光观察

透射照明单元

透射照明单元

对应光掩模和fpd检查的透射照明单元。偏振光片的搭载，实现了透射简易偏振光观察。有通用的a型号和高na（数值孔径）的b型号两种型号。

半导体／fpd检查显微镜 规格			mx61l	mx61
光学系统			uis2光学系统（无限远校正）
机身	观察方法		明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光
	反射/透射		反射/透射
	照明装置		机身一体型（明视场，暗视场＋1选件）
	照明系统	反射照明	100 w卤素/100 w水银/75 w氙
		透射照明	纤维光导
	对焦单元	电动/手动	手动
		行程	32 mm
		分辨率/微调灵敏度	微调旋钮转动1周移动0.1 mm
		Zui大样本高度	30 mm
	物镜转换器	电动型	明视场微分干涉6孔
			明暗视场微分干涉5孔
			明暗视场微分干涉6孔
			明暗视场微分干涉中心输出5孔
		手动式	-
载物台	行程		14×12英寸右下手柄： 356（x）×305（y）mm （透射照明范围356×284 mm）	8×8 英寸右下手柄： 210（x）×210（y）mm （透射照明范围189×189 mm） 6×6 英寸右下手柄： 158（x）×158（y）mm
观察筒	广角视场 （视场数22）	倒置	双目/三目观察筒
		正像	三目观察筒
	超宽视场 （视场数26.5）	倒置	三目观察筒
		正像	倾斜三目观察筒
附件单元			duv单元/ir单元/电动载物台/自动装载
外形尺寸			710（w）×843（d）×507（h）mm （标准组合）	509（w）×843（d）×507（h）mm （标准组合）
重量			51 kg（标准组合）	40 kg（标准组合）