Cube200x台式电镜能谱一体机（驰奔仪器）

Cube-X是驰奔仪器第二代钨丝枪系列扫描电镜 之桌面台式扫描电镜

Cube-X台式扫描电镜能谱一体机，是全数字化控制，专业电子显微成像分析仪器，配置有三级电磁透镜，大变焦范围，长工作距离，多孔径光阑，轻松获得材料表面高分辨、大景深、高质量的微观形貌导航图，拓展简易EDS，能够对微米亚微米范围元素组成进行快速鉴定，即使未经专业培训，也能够得心应手。在工作条件固定模式下，Cube-X也是一款高效率的成像检测设备。

硬件特征：

全数字控制，专业级电子显微成像仪器；

标配SE探测器，选配BSE探测器 ；

可选样品仓低真空环境功能，直接测试非导电样品；

可选内置一体化简单易用EDS；

XYZ三轴大行程自动样品台，可选RT轴自动控制（降低Z轴行程）；

多重弹簧橡胶隔振减振系统；

主机设计紧凑，系统高度集成，良好散热及电磁兼容性能；

轻质合金外壳，数字加工成型，具有良好电磁屏蔽功能。

多工位马达驱动样品台  X Y Z行程：45/45/50mm  手动倾斜旋转样品

高档轻质合金外壳，数字加工成型，具有良好电磁屏蔽功能。

 

拓展：简单易用X-ray能谱（EDS）

       能够快速获得微米亚微米范围感兴趣区化学元素成分信息，用户无需了解能谱技术知识，按照厂商预设程序，简单培训即可工作，配置尽可能简单快速。

特点： 

自动定性定量； 自动谱峰能量校准；

自动选择通道宽度及时间常数； 采集电镜图像，可同时采集谱图像，可叠加元素伪彩；

元素面分布和线扫描，多基于谱图像的分析提取；

探测晶体面积10~30mm²，但Zui大输出10万Cps左右;

无需液氮制冷

软件特征：

用户友好：包含多用户环境、一键成像、自动调节、灯丝寿命记录、远程诊断控制；

特殊样品：动态聚焦（DF）、倾斜补偿；

高效拍照：自动照相（Auto Imaging）； 大图拼接：连续视野照片缝合； 

信号探测：支持SE、BSE、STEM同时；

鼠标键盘操作，简易快捷。

安装尺寸图：

性能指标：

型号

Cube-X  台式电镜能谱一体机

样品台

XYZ三轴自动，RT手动
-X: 45mm            （自动）

-Y: 45mm            （自动）
-Z: 5-50mm         （自动） -R: 360°无限         （手动）
-T: ±90°               （手动）

电子枪

预对中钨灯丝，三极自动偏压，偏压与加速电压关联

加速电压

200V-30KV ，数字化高压电源，连续可调

探测器

E-T型  SE detector, 四分割半导体固体BSE detector（选购）

物镜光阑

四孔位可变光阑，20~100μm

分辨率

5nm @30KV  SE Image

8nm@30KV   BSE Image

放大倍数

20x-300,000 x

样品室

Se、Bse、EDS探测器接口， 4个其他接口

Zui大样品尺寸

Φ90mm  x 45mm（H）

工作距离

0-48mm

扫描光栅运动

电位移 ±50μm， 电旋转 0-360°

视频显示模式

聚焦模式：320X240 像素 ，尺寸可变

TV模式：800x 600像素 

慢扫描模式:用于TV及聚焦模式。

照相模式：800X600、960X720、1024x768、1600x1200、Zui大3200x2400像素

扫描

动态聚焦，倾斜补偿

图像格式

JPG、TIFF、bmp、PNG

真空系统

全自动真空系统，真空高压连锁安全保护

-涡轮分子泵    

-旋片式机械真空泵

-电动阀门系统：真空闸板阀、电磁阀等

-高真空优于7.5x10-3Pa  （从大气到达高真空小于3分钟）

-低真空模式 10-230Pa  （选配）

自动功能

亮度/对比度, 聚焦, 电子枪对中、偏压、饱和，物镜光阑摇摆对中，自动照相存储

软件系统

基于Win10，Virtuoso专用控制软件. 内嵌长度角度面积测量、图像编辑处理工具。鼠标键盘操作。

主机尺寸/重量

410(W）x440（D）x 520（H）mm /65kg

电源

单相交流 220V 、50Hz、1KW

耗材附件

预对中灯丝，样品托，碳导电胶带，专用工具

EDS能谱仪           All-in-one mode   OXFORD/BRUKER/EDAX

拓展：简易X-ray能谱（EDS）

       主要针对感兴趣区进行元素定性和半定量，能够快速获得结果，能够较为快速的进行元素面分布采集。

       用户无需了解能谱技术知识，按照厂商预设程序，简单培训即可工作，配置尽可能简单快速。

特点： 自动定性定量； 自动谱峰能量校准；

自动选择通道宽度及时间常数； 采集电镜图像，可同时采集谱图像，可叠加元素伪彩；

元素面分布和线扫描，多基于谱图像的分析提取；

探测晶体面积10~30mm²，但Zui大输出10万Cps左右;

无需液氮制冷