压电偏转镜-芯明天

压电偏转镜是以压电陶瓷作为驱动元件，内部采用无回差柔性铰链并联导向结构设计，外部机械结构通过内部多支压电陶瓷的伸缩来实现单轴或多轴角度偏转运动，补偿量小，确保偏转镜具有的运动精度和超高的稳定性，通过内置高精度传感器进行闭环控制，实现亚微弧度分辨率及微弧度定位精度。

P32θx θy Z三维压电偏转镜是以压电陶瓷作为驱动的倾斜镜，压电倾斜镜内部采用无回差柔性铰链并联结构，采用有限元分析柔性铰链结构,紧凑的差分并联结构柔性导向系统具有超高的导向精度，具有高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点，压电偏转镜内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈，确保偏转镜具有的运动控制精度、分辨率和稳定性，可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。紧凑型设计，可更好的集成光学系统中。

特点：

外形尺寸： 体积小巧、结构紧凑、φ25mm*56mm

行程：6mrad  分辨率：0.05μrad

采用无摩擦、无回差紧凑的差分式并联结构柔性导向系统，具有超高的导向精度；

内置高性能压电陶瓷、高可靠性

内置位移传感器进行全闭环位置反馈，开/闭环可供选择，可提供安装及出线方式

应用：

激光合束对准与激光致盲*空间二维扰动模拟系统-光机产品-光学调整架*显微成像台*光束扫描