SURAGUS 在线方阻测试仪

SURAGUS 在线方阻测试仪

SURAGUS EddyCus TF inline 在线薄膜面电阻和厚度测试仪

TF 系列产品是一款适合实验室研发或成品检测使用的薄膜面电阻（方块电阻）及薄膜厚度测量的仪器。

特点

非接触与实时测量

测量

高度可变性和灵活性

在真空内-和真空外的解决方案

固定传感器和穿越式解决方案

单线和多线解决方案

高达每秒1000次的高采样率

参数

面电阻（方块电阻）（欧姆/平方）

金属层厚度（nm、μm）

金属基板厚度（μm）

各向异性

缺陷

完整性评定

应用

建筑玻璃（LowE）

触摸屏和平板显示器

OLED和LED应用

智能玻璃的应用

透明防静电铝箔

光伏

半导体

除冰和加热应用

电池和燃料电池

包装材料

材料

金属薄膜和栅格

导电氧化物

纳米线膜

石墨烯、CNT（碳纳米管）、石墨

打印薄膜

导电聚合物（PEDOT:PSS）

其他导电薄膜及材料

规格参数

面电阻（方块电阻）测量技术：非接触式涡流传感器

基板：例如：箔片、玻璃、晶圆，等等

测量间隙尺寸：5 / 10 / 15 / 25 / 50 / 75 mm

传感器对数 / 监控线数：1 - 99

传感器尺寸 (W x L x H)：

M 型传感器：80 x 100 x 66 mm

S 型传感器：34 x 48 x 117 mm

导电层：金属/ TCOs/ CNTs/ 纳米线/ 石墨烯/ 栅格/ PEDOT/其它

薄膜面阻的范围：

低      0.0001 - 10 Ohm / sq; 2 至 7 % 度

标准     0.01 - 1,000 Ohm / sq; 2 至 7 % 度

高        10 - 100,000 Ohm / sq; 3 至 8 % 度

金属膜的厚度测量（例如：铝、银、钼、银浆）：2 nm - 2 mm (与薄膜电阻一致)

其它集成的测量：金属厚度/光透明性/密度/电性各向异性

环境：在真空外/在真空内 @ T < 60°C / 140°F (根据要求 <90°C / 194°F)

采样率：1 / 10 / 50 / 100 / 1,000 次测量每秒

硬件触发：5, 12, 24 V

界面：UDP、.Net libraries、TCP、Modbus、模拟/数字