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一般来讲，如果说前级泵没有问题，而 真空在规定的时间内没有达到规定的真空值 或者有漏气(排除其它的漏气)、或着解吸 附作用降低，说明真空泵有点脏了，需要进 行清洗，这时不用进行拆卸就可以直接进行 清洗，如果太脏的话，就必须进行拆卸清理 了。

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多数涡轮分子泵对于输送轻气体（如氢、氦）的能力很强。因而它非常适于超高真空下的工艺操作。对于那些富氢的工艺过程，氦质谱检漏仪等场合均可得到应用。有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵，适用于刻蚀、反应离子刻蚀，离子束加工，低压化学气相沉积，外延及离子注入等工艺操作。在这些工艺过程中，抽除的气体会对低温泵、离子泵、扩散泵油等有腐蚀作用。甚至也会破坏标准的未加保护的涡轮分子泵。由于涡轮分子泵属于传输型泵，被抽气体可穿膛而过，不在泵内积存。因而它适于气体负荷高的工艺过程。如溅射、刻蚀等。