SCS-1050/70太阳能集热管镀膜机

本设备是一种高真空磁控溅射镀膜机，主要用于真空太阳能集热管生产中镀制渐变的化学配比的太阳能选择性吸收膜。

该设备采用先进的触摸屏和plc自动控制技术，用户可以通过人机对话，很方便的编制各种生产工艺，达到高精度的化学配比镀膜，还可以通过变换靶材，变换基片(工件)夹具，在各种基片表面制备各种纯金属膜、合金膜，以及多种金属的化合物膜。本设备具有十分广泛的使用范围。

2.1.镀膜室结构尺寸：立式圆柱形前开门结构

内腔尺寸：φ1050×2400mm

2.2.真空系统：

主 泵：k-650油扩散泵 1台 9kw

前级泵：2x-70旋片式机械泵 3台 5.5kw×3=16.5kw

维持泵：2x-15旋片式机械泵 1台 1.5kw

阀 门：电磁气动型

2.3.极限真空：1.3×10-3pa

2.4.抽气时间：从大气压到6.7×10-3pa≤15min

2.5.工件架：行星式公、自转，直流电机无级调速。

公转速度：0.3～1.5r/min

自转速度：5～23r/min

可镀工件尺寸：φ47(内管) 70支

2.6.靶：磁场旋转圆柱靶：不锈钢靶1支、铜靶1支、铝靶1支

2.7.冷却水：压力：1.8～2×105pa；温度≤20～25℃；流量：2t/h(需方自备)

2.8.压缩空气：工作压强：(4～7)×105pa，要求：过滤，除水，除油 (需方自备)

2.9.溅射电源：dc –700v/45a 2套，30kw×2

2.10.装机功率：81.5kw，工作电压：ac380v 电源频率：50hz