Nexview 白光干涉扫描轮廓仪

•NeXview非接触式3D光学轮廓仪是基于ZYGO专利的白光扫描及移相干涉测量法

  包括FDA空间频率域分析，SureScan抗震白光扫描算法，SmartPSI抗震移相干涉测量算法。

更小的系统噪声  --------超光滑样品的测量

粗糙度：

Sa=0.341 A    Sq=0.449A  测试范围1.66mmx1.66mm，每像素空间分辨率1.66微米。

能测到Zui小的粗糙度结果，直接表征了系统的噪声基底的大小，这一噪声可能来自于光噪声，电噪声，震动环境影响等等。它意味着，比这更光滑的样品，更小的信号，也会湮没在系统噪声基底中，所以，这一结果直接反映了系统能够测试粗糙度的分辨率，或者说是粗糙测量的极限能力。                   

                                                                              更快的拼接大尺寸样品平面度

新的拼接算法，更稳定高效的拼接过程，使在实际使用中拼接大尺寸样品变得简单，高效，可行。

  具有微小缺陷，纹理自动分辨，分析统计功能。

  配合Zygo VisionPro 软件，可以做关键尺寸分析。

  全新的软件界面和客户接口。Zui大程度强化图形化结果输出，以一目了然的方式展示测试报告。

  全新的外观设计，没有复杂暴露的线缆，整洁干净。

  测试头具有防撞功能，有效的保护样品，压电陶瓷和镜头。