激光衰减器/ VAV514

激光衰减器

基于手动或步进电机控制、应用于真空，用于控制和维持恒定激光功率。

l 光束偏移量Zui小的时候没有必要调整

l 得益于高损伤阈值的高可靠性

l 用于高功率和脉冲能量的连续和脉冲激光器

l 用于所有准分子和nd:yag波长

l 替换ml21xx和ml22xx系列

可变激光衰减器光学部分是由一个介质滤波器搭配一个光学平板，光学平板式用于补充由于滤波器引

起的光学偏移。（平移位移<25µm，角位移< 50µrad）。传束激光的连续衰减时通过介质滤波器在0度到45度范围倾斜角度（误差<2mrad）渐变来获得，详情见产品手册。

1）、手动调节---通过控制旋钮和精密的齿轮箱

可变激光衰减器的倾斜角是通过控制旋钮，精密齿轮箱允许高调制激光功率，配件还有可选的水冷热沉。

产品	能量密度	功率密度	基板	透过率
vam193	0.80j/cm2	100kw/cm2	fs	5-80%
vam248	2.00j/cm2	100kw/cm2	fs	2-90%
vam266	2.00j/cm2	100kw/cm2	fs	2-90%
vam308	5.00j/cm2	100kw/cm2	fs	1-92%
vam351	8.00j/cm2	100kw/cm2	fs	1-92%
vam355	8.00j/cm2	100kw/cm2	fs	1-92%
vam514	10.00j/cm2	100kw/cm2	fs	1-92%
vam532	10.00j/cm2	100kw/cm2	fs	1-92%
vam808	15.00j/cm2	100kw/cm2	fs	1-95%
vam1064	20.00j/cm2	100kw/cm2	fs	1-98%

1、vam193 参数和尺寸

型号：ml2100-193

功率密度：100kw/cm2

基板：fs

角度误差<2mrad

光位移：<25µm

 波长：193nm

透过率：5-80%

能量密度：0.80j/cm2

宽度：100mm

高度80mm

长度174mm

重量：1200g

 

2、vam248 参数和尺寸

功率密度：100kw/cm2

基板：fs

角度误差<2mrad

光位移：<25µm

 波长：248nm

透过率：2-90%

能量密度：2.00j/cm2

宽度：100mm

高度80mm

长度174mm

重量：1400g

3、vam266 参数和尺寸

功率密度：100kw/cm2

基板：fs

角度误差<2mrad

光位移：<25µm

 波长：266nm

透过率：2-90%

能量密度：2.00j/cm2

宽度：100mm

高度80mm

长度174mm

重量：1200g

 

4、vam308 参数和尺寸

功率密度：100kw/cm2

基板：fs

角度误差<2mrad

光位移：<25µm

波长：308nm

透过率：1-92%

能量密度：5.00j/cm2

 

宽度：100mm

高度80mm

长度174mm

重量：1200g

 

5、vam351 参数和尺寸

功率密度：100kw/cm2

基板：fs

角度误差<2mrad

光位移：<25µm

 

波长：351nm

透过率：1-92%

能量密度：8.00j/cm2

宽度：100mm

高度80mm

长度174mm

重量：1200g

 

6、vam355 参数和尺寸

功率密度：100kw/cm2

基板：fs

角度误差<2mrad

光位移：<25µm

 波长：355nm

透过率：1-92%

能量密度：8.00j/cm2

 

宽度：100mm

高度80mm

长度174mm

重量：1200g

 

7、vam514 参数和尺寸

功率密度：100kw/cm2

基板：fs

角度误差<2mrad

光位移：<25µm

 波长：514nm

透过率：1-92%

能量密度：10.00j/cm2

宽度：100mm

高度80mm

长度174mm

重量：1200g

 

2）、步进电机控制---用于自动激光输出过程

激光衰减器的倾斜角通过步进电机控制，45度叫分成800微步，用步进控制操作使得调制和使用可以通过计算机，配件还有可选的水冷热沉。

产品	能量密度	功率密度	基板	透过率
vas193	0.80j/cm2	100kw/cm2	fs	5-80%
vas248	2.00j/cm2	100kw/cm2	fs	2-90%
vas266	2.00j/cm2	100kw/cm2	fs	2-90%
vas308	5.00j/cm2	100kw/cm2	fs	1-92%
vas351	8.00j/cm2	100kw/cm2	fs	1-92%
vas355	8.00j/cm2	100kw/cm2	fs	1-92%
vas514	10.00j/cm2	100kw/cm2	fs	1-92%
vas532	10.00j/cm2	100kw/cm2	fs	1-92%
vas808	15.00j/cm2	100kw/cm2	fs	1-95%
vas1064	20.00j/cm2	100kw/cm2	fs	1-98%

 

 

1、vas193 参数和尺寸

功率密度：100kw/cm2

基板：fs

角度误差<2mrad

光位移：<25µm

 

波长：193nm

透过率：5-80%

能量密度：0.80j/cm2

宽度：100mm

高度：80mm

长度：146mm

重量：1200g

 

2、vas248 参数和尺寸

功率密度：100kw/cm2

基板：fs

角度误差<2mrad

光位移：<25µm

 

波长：248nm

透过率：2-90%

能量密度：2.00j/cm2

宽度：100mm

高度：80mm

长度：146mm

重量：1200g

 

3、vas266 参数和尺寸

功率密度：100kw/cm2

基板：fs

角度误差<2mrad

光位移：<25µm

 

波长：266nm

透过率：2-90%

能量密度：2.00j/cm2

宽度：100mm

高度：80mm

长度：146mm

重量：1200g

 

4、vas308 参数和尺寸

功率密度：100kw/cm2

基板：fs

角度误差<2mrad

光位移：<25µm

 

波长：308nm

透过率：1-92%

能量密度：5.00j/cm2

宽度：100mm

高度：80mm

长度：146mm

重量：1200g

 

5、vas351 参数和尺寸

功率密度：100kw/cm2

基板：fs

角度误差<2mrad

光位移：<25µm

 

波长：351nm

透过率：1-92%

能量密度：8.00j/cm2

宽度：100mm

高度：80mm

长度：146mm

重量：1200g

 

6、vas355 参数和尺寸

功率密度：100kw/cm2

基板：fs

角度误差<2mrad

光位移：<25µm

 

波长：355nm

透过率：1-92%

能量密度：8.00j/cm2

宽度：100mm

高度：80mm

长度：146mm

重量：1200g

 

7、vas514 参数和尺寸

功率密度：100kw/cm2

基板：fs

角度误差<2mrad

光位移：<25µm

 

波长：514nm

透过率：1-92%

能量密度：10.00j/cm2

宽度：100mm

高度：80mm

长度：146mm

重量：1200g

 

8、vas532 参数和尺寸

功率密度：100kw/cm2

基板：fs

角度误差<2mrad

光位移：<25µm

 

波长：532nm

透过率：1-92%

能量密度：10.00j/cm2

宽度：100mm

高度：80mm

长度：146mm

重量：1200g

 

9、vas808 参数和尺寸

功率密度：100kw/cm2

基板：fs

角度误差<2mrad

光位移：<25µm

 

波长：808nm

透过率：1-95%

能量密度：15.00j/cm2

宽度：100mm

高度：80mm

长度：146mm

重量：1200g

 

3）、真空应用---带法兰连接器的不锈钢外壳

激光衰减器的倾斜角通过步进电机控制，45度叫分成800微步，用步进控制操作使得调制和使用可以通过计算机，dn50法兰作为光束入口、出口，侧面的dn16作为吹除气或者真空管路的连接。

产品	能量密度	功率密度	基板	透过率
vav157	0.20j/cm2	100kw/cm2	caf2	2-70%
vav193	0.80j/cm2	100kw/cm2	fs	5-80%
vav248	2.00j/cm2	100kw/cm2	fs	2-90%
vav266	2.00j/cm2	100kw/cm2	fs	1-92%
vav308	5.00j/cm2	100kw/cm2	fs	1-92%
vav351	8.00j/cm2	100kw/cm2	fs	1-92%
vav355	5.00j/cm2	100kw/cm2	fs	1-92%
vav514	10.00j/cm2	100kw/cm2	fs	1-92%
vav532	10.00j/cm2	100kw/cm2	fs	1-92%
vav808	15.00j/cm2	100kw/cm2	fs	1-95%
vav1064	20.00j/cm2	100kw/cm2	fs	1-98%

 

dn50和dn116

宽度：190mm

高度：135mm

长度：260mm

重量：5000g

 

1、vav157 参数和尺寸

功率密度：100kw/cm2

基板：caf2

角度误差<2mrad

光位移：<25µm

 

波长：157nm

透过率：2-70%

能量密度：0.20j/cm2

宽度：190mm

高度：135mm

长度：260mm

重量：5000g

 

2、vav193 参数和尺寸

功率密度：100kw/cm2

基板：fs

角度误差<2mrad

光位移：<25µm

 

波长：193nm

透过率：5-80%

能量密度：0.80j/cm2

宽度：190mm

高度：135mm

长度：260mm

重量：5000g

 

3、vav248 参数和尺寸

功率密度：100kw/cm2

基板：fs

角度误差<2mrad

光位移：<25µm

 

波长：248nm

透过率：2-90%

能量密度：2.00j/cm2

宽度：190mm

高度：135mm

长度：260mm

重量：5000g

 

4、vav266 参数和尺寸

功率密度：100kw/cm2

基板：fs

角度误差<2mrad

光位移：<25µm

 

波长：266nm

透过率：1-92%

能量密度：2.00j/cm2

宽度：190mm

高度：135mm

长度：260mm

重量：5000g

 

5、vav308 参数和尺寸

功率密度：100kw/cm2

基板：fs

角度误差<2mrad

光位移：<25µm

 

波长：308nm

透过率：1-92%

能量密度：5.00j/cm2

 

宽度：190mm

高度：135mm

长度：260mm

重量：5000g

 

6、vav351 参数和尺寸

功率密度：100kw/cm2

基板：fs

角度误差<2mrad

光位移：<25µm

 

波长：351nm

透过率：1-92%

能量密度：8.00j/cm2

 

宽度：190mm

高度：135mm

长度：260mm

重量：5000g

 

7、vav355 参数和尺寸

功率密度：100kw/cm2

基板：fs

角度误差<2mrad

光位移：<25µm

 

波长：355nm

透过率：1-92%

能量密度：5.00j/cm2

宽度：190mm

高度：135mm

长度：260mm

重量：5000g

 

8、vav514 参数和尺寸

功率密度：100kw/cm2

基板：fs

角度误差<2mrad

光位移：<25µm

 

波长：514nm

透过率：1-92%

能量密度：10.00j/cm2

宽度：190mm

高度：135mm

长度：260mm

重量：5000g

 

9、vav532 参数和尺寸

功率密度：100kw/cm2

基板：fs

角度误差<2mrad

光位移：<25µm

 

波长：532nm

透过率：1-92%

能量密度：10.00j/cm2

宽度：190mm

高度：135mm

长度：260mm

重量：5000g

 

10、vav808 参数和尺寸

功率密度：100kw/cm2

基板：fs

角度误差<2mrad

光位移：<25µm

 

波长：808nm

透过率：1-95%

能量密度：15.00j/cm2

宽度：190mm

高度：135mm

长度：260mm

重量：5000g