气体质量流量计

产品特点

热式原理，响应快，精度高

管状分流，不易堵塞

适用于各种低压和高压管道

预热时间短，零漂小，可靠性高

模拟量输入/出可使用二次表或流量计算机控制和显示流量

ast10-al质量流量控制器由质量流量传感器，层流分层件，流量控制器调节阀和放大控制电路等部件组成。它利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分布效应而制成。

ast10-al采用毛细管传热前后温度差量热法原理测量气体的质量流量，不爱温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值信号去驱动控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。

产品应用及技术参数

真空 镀膜 太阳能 半导体 石油石化 煤炭冶金 制气配气 环保 各种分析仪器

技术参数

技术指标ast10-alc质量流量控制器ast10-alm质量流量计
量程范围 5sccm～5slm
测控范围 控制器阀控范围50:1 流量计量程比100:1
准 确 度 ±1.5%f.s
线 性 ±0.5%f.s
重复精度 ±0.2%f.s
响应时间 <2s <1.5s
模 拟 量 0～5v、4～20ma、

供 电 ±15vdc,24vdc
工作温度 0～50℃
工作压力 工作压差：0.1～0.5mpa 工作压降：<0.03mpa
Zui大耐压 3mpa、10mpa
电气连接 db15孔
漏 率 1×10-8sccshe
温度系数 ±0.015%f.s/℃
底座材质 316l
密封材料 氟橡胶,氯丁橡胶，丁晴橡胶
接 头 φ3, φ6, 1/4", 1/8