X61 S914×360-D-S-1型研磨机

 一．设备用途和特点

本机是我公司Zui新为蓝宝石片研磨开发研制的设备，也可作为其它材料的单面高精度研磨。

二．设备特点

1.设备下磨盘材料为树脂铜盘，上研磨头材料为316不锈钢，承片盘为氧化铝陶瓷，主研盘和上研磨头均设有强制冷却（可选配冷水机），采用红外测温、闭环控温；四个研磨头采用变频调速主动转动，研磨头的压力用电气比例阀调控实现了多段压力控制，可大区段自动加压。

2.本机可选配高精度数控车刀修盘装置，方便了铜盘面形修整，适应了蓝宝石加工的工艺要求。

3.在控制上采用了plc及人机界面控制，操作方便，显示丰富，可根据用户要求开发软件；

4.采用磁力搅拌泵搅拌、真空喷砂供液，出液口配有分液装置及沉淀水槽；配有冲洗水枪。

5.电气控制器件采用国外品牌（omron 、raytek、和泉及施耐德等），可靠稳定；主传动采用了椿本的环面包络蜗轮蜗杆减速箱，四个研磨头采用了台湾利明减速电机驱动，运转平稳寿命长。

三．设备主要技术参数

1.下研磨盘尺寸：      φ868×φ244mm×13mm (树脂铜盘）

2．承片盘直径          φ360mm

陶瓷盘固定方法：采用上盘护圈固定方法

3．下研磨盘转速          0-90rpm

4．四个抛光头转速        0-90rpm

5.抛光头数量           4

6.气缸直径            φ100mm

7.抛光头升降行程       250mm

8.Zui大设定压力：       300kgf

9.Zui小设定压力：       20kgf

10.主电机                11kw

11.抛光头驱动电机        0.75kw×4             

12.外型尺寸：1280mm (w)×1870mm (d)×2450 mm (h)

13.重量:     约4000kg

四．设备安装使用环境

设备应安装在地面平坦，远离振动源，无灰尘烟雾污染的场所。

1．工作温度：                  15℃-25℃

2．气源：                      0.4-0.6mpa（干燥无油）   

3．相对湿度                    ≦80%

4．电源：                      ac380v，50hz (三相五线制)

5.冷却水  

水压：2kgf/cm2 以下

水量：15l/min

温度：7～12℃