水汽捕集泵、超低温捕集泵、深冷泵、超低温冷阱

-150℃气体扑集器

水汽捕集泵又称：polycold、快速循环水汽深冷泵

适用于：物理、化学气相沉积镀膜、真空蒸发镀膜、磁控溅射镀膜、离子镀膜等真空镀膜设备； 光学镀膜、卷绕镀膜等各种功能镀膜或装饰镀膜系统。

功效：可以在真空室内抽吸水汽，也可以用于冷阱等冷却装置防止扩散泵返油。缩短排气时间60-90%，提高镀膜质量。

应用原理:

在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽，但其抽除残余气体的能力低，时间长，而且所有残余气体还是工件的污染源，从而使产品的产量和质量受到影响。深冷泵则是解决这类问题的上佳选择。

深冷泵的工作原理：将一个能到-120℃以下的制冷盘管，放置在真空室中或油扩散泵的泵口，通过其表面的低温冷凝效应，迅速捕集真空系统的残余气体。从而大大缩短抽真空的时间（可缩短60-90%的抽气时间）、获得洁净的真空环境（真空度可提高半个数量级，达到10-8torr、10-5pa)。

在实际应用当中，根据所放的位置不同可以分为两类（见图）：

1、水汽捕集器

它的制冷盘管经常被安装在高阀与真空腔之间或真空腔内、卷绕镀膜上下室内等部位。适用于

塑料低温镀膜、卷绕镀膜等被镀膜材料放气量较大的场合。盘管需要有加热除霜装置，使盘管每次开门之前恢复到常温，避免低温盘管从大气中吸收大量的水汽而结霜，影响下次抽真空。

2、低温冷阱

放在油扩散泵的泵口，高阀以下，它主要功能是防止油扩散泵返油，同时也可以加快抽速、提高真空度。由于系统处于真空状态，无需除霜装置。

根据需要,二者可以分别安装也可以同时安装.

本公司研发生产的-145℃深冷水汽捕集泵，采用单台压缩机、自动复叠制冷方式、进口压缩机及制冷配件、环保混合型制冷剂生产，替代液氮，节约成本。具有制冷速度快、效率高、温度低、维护方便等特点，其性能指标在国内处于领先地位，达到甚至超过国际先进水平。

主要的性能特点

1、快速吸附水、油蒸汽、可缩短排气时间60-90%；

2、降温迅速，3分钟内制冷到-120℃，Zui低可到-150℃；

3、2分钟热气除霜，迅速回温，5分钟可再降温;

4、一台设备可设计两路负载输出；

5、进口压缩机，环保混合型制冷剂;

6、完善的自动化控制；

7、具有两路负载入口和出口温度显示、本机温 度显示；

8、当待机温度到达后有指示灯提示，可以开始制冷；

9、除霜温度自由设定；

10、具有水温温度、排气温度显示；

11、缺水、水温过高报警；

12、压缩机排气过高、压力过高保护；

13、电源断电、缺相报警；

14、可本地、远程控制自由转换；

15、r232计算机数据接口，计算机可读取温度数据及控制。