NV-2000白光干涉仪

系统规格

测量方法             3d，非接触

                     白光干涉法（wsi）white light scanning interferometry

                     相移干涉法（psi） phase shift interferometry

镜头                 可选变焦镜头

                    （见可选配件）

物镜                （见可选配件）

扫描方法             16bit线性差动变压器闭环控制压电扫描

传感器分辨率（ccd） 640x480，1/2”

倾斜度调整           手动调整±6°

z轴行程             手动，100mm(见可选配件)

z轴调节             手动，30mm

工件平台             230×230mm，Zui大载重5kg

物镜固定架           手动，可选配5种镜头

光源                 100w程控卤钨灯

控制器               独立运作控制器

计算机               hp compaq,17”lcd显示器（不低于此配置）

操作系统             windows xp

软件                 操作软件：nanoview

                     分析软件：nanomap

                     自动拼接功能

震动隔离装置         >1.8hz的减震隔离设计

*提供电脑工作台

尺寸（长×宽×高）   主机，480×630×680mm

                     隔离装置，750×750×710mm

重量                 主机，80kg

                     隔离装置，80kg

性能规格

    扫描范围           270?（见可选配件）

    扫描速度           高精度模式，2.4?/秒

                       高速模式，7.2?/秒

    z轴精度重复性     ＜0.5%，基于高精度模式的测量标准

    垂直分辨率         wsi＜0.5nm

                       psi＜0.1nm

    视场范围           与变焦镜头/物镜有关（见视场范围表）

    横向抽样           与变焦镜头/物镜有关（见横向抽样表）

    *z轴的重复性与工作环境有关

工作环境要求

    温度                23℃±2.0℃（1.0℃/15分钟）

    房间湿度            ＜60%

    震动                不低于vc-b

功耗

     电压               220v±5%, 60hz, 单相

     气压               > 6.0kgf/cm2 , 入口直径6mm

    可选配件

         物镜              2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x 干涉法

                        2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x 物镜

     变焦镜头           0.5x, 0.75x, 1.0x, 1.5x, 2.0x

     z平台             电动，100mm（不包含默认z平台）

     扫描范围           270?,压电扫描

                        5mm，电动扫描

     台阶高度标准       厚台阶标准（8?）  

                        薄台阶标准（88?）

视场范围 / 横向抽样 表 

(640x480, 1/2” 相机)

   *视场范围/横向抽样值是理论值