薄膜生产线光学监控

 镀膜厚度的纵向、横向均匀度是镀膜制品重要质量和技术指标。镀膜产品的光密度（ 光密度 = log（1/透过率））和镀层厚度成正比例关系，镀层厚度越厚，光密度值越大，透过率越低。所以通过测量镀膜产品的光密度可以监控镀膜层的厚度。

真空镀膜在线镀层厚度检测装置，适用于各类镀膜生产线上，通过选择监控产品的可见光透过率，红外线透过率和光密度值（od），来达到在线检测和分析产品镀层厚度，镀层厚度的均匀性等性能是否在工艺要求之内。以便操作人员及时了解产品质量，如有问题，及早发现及调整工艺，提高产品品质，降低产品的废品率。

此仪器提供双路的rs485通讯接口，标准的modbus通讯协议，方便和plc，单片机，人机界面，电脑等通讯。镀膜机可以直接读取此设备的光密度数据，实现控制自动化（闭环控制）。

1.测试波长：根据客户需要选择，目前有如下的选择：

l  红外线：850 nm（默认选项，抗干扰能力强）

l  可见光：白光 380nm-760nm

l  绿光：  530nm

2.透过率测量精度：优于±1%

3.透过率分辨率：0.005%；

4.光密度测量范围：0.00 od --- 5.00 od

5.光密度的分辨率：

 0.01  for  0.00 - 3.00 od

0.05  for  3.00 - 5.00 od

6.Zui大测量点数：36点

7.相邻探测头之间距离：Zui小70mm

8.发送接收探头之间距离：20mm

9.温度范围： -20°c --- +70°c

10.数据刷新周期：300ms

11.仪器整体尺寸： 100mm（宽）*230mm（高）* 长度(根据客户要求定制)

12.需真空法兰电极芯数：6根（不配电脑监控），9根（配电脑监控）

13.电源：220v ac/50hz

14.通讯：双路rs485

1. 一体化设计，结构简单，现场安装维护方便

2. 防尘设计

对于镀膜过程中的粉尘（如镀铝过程）会影响测量光学系统，该系统采用防尘设计，粉尘不会影响光学系统内部。如有粉尘，只需要定期擦拭清洁光学系统的镜头玻璃即可，方便维护。

3. 真空室的电子设计

   真空环境中，和大气环境下有众多的区别，经过多次真空试验和现场应用，成功解决真空中电子器件的稳定性问题