多晶硅还原炉钟罩自动清洗烘干系统
更新时间:2014-01-02 17:09:25 信息编号:2485245 发布者IP:123.118.252.149 浏览:70次- 供应商
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产品详细介绍
多晶硅还原炉钟罩自动清洗烘干系统
■适用范围
西门子法多晶硅还原炉钟罩(炉筒)内壁的全自动清洗和烘干。
■工作原理
以高压水射流为动力,以水力自驱动三维洗罐器为喷头,形成360°的网状喷射表面,完成钟罩内部表面的水力扫射,用专用清洗剂等为主要清洗液,用纯水(去离子水或叫脱盐水)漂洗,用高纯水冲洗,完成清洗过程。
用经过三级净化(10万级)的纯净空气,梯级加热,Zui终保证烘干完的钟罩不再结露,可直接进入生产作业。
■系统特点
1) 技术能力强,设计合理,根据客户需求,总结借鉴国内外还原炉钟罩及其它罐类清洗烘干经验,充分发挥高压水清洗和吸除尘的技术优势,设计出本套系统,实现了还原炉钟罩的全自动清洗和烘干操作。可根据使用方不同还原炉钟罩、车间厂房的情况,能源条件不同,提供个性化设计。
2) 设备性能可靠,核心部件、元件和附件原装进口。
3) 自动化程度高:plc+触摸屏柔性自动控制系统,实现对还原炉钟罩的自动清洗和烘干同时具有半自动或手动功能。
4) 适应范围广:可以在一套系统实现多种型号还原炉钟罩的清洗烘干。
5) 节能、环保、安全:提供了预热(余热蒸汽、余热水或油)加热清洗水及干燥空气的方案。全密闭式清洗烘干系统,基本消除了对现场及操作人员的污染。
■工作流程
还原炉钟罩到位—预清洗—清洗剂(碱液)清洗—漂洗—高纯水冲洗—净化热空气干燥—常温干燥—钟罩吊走。
注:清洗剂的选择对清洗效果和作业安全有直接影响,这方面我公司积累了丰富的实践经验解决闪爆等问题。