韩国TK SCT超高纯在线式气体过滤器

更新时间:2014-04-04 15:12:34 信息编号:2026343
韩国TK SCT超高纯在线式气体过滤器
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产品详细介绍

TKSCT气体过滤器系列有:

哈式合金气体过滤器

不锈钢气体过滤器

PTFE气体过滤器

IGS气体过滤器

陶瓷气体过滤器  

材质结构

超高纯在线式过滤器  ■哈式合金气体过滤器全哈氏合金结构  ■ 高温及动态压力测试  ■ 不锈钢气体过滤器全316L不锈钢结构  ■ 尺寸紧凑,可变的末端连接  ■ PTFE气体过滤器滤芯为PTFE材质,本体材质为316L,内部电解抛光 ■ IGS气体过滤器具有高可靠性耐冲击和震动 ■陶瓷气体过滤器内部为316L 电解抛光处理  广泛应用于化学品行业

 产品特性 

▪ 流量大,12-800SLPM 

▪ 受腐蚀的部位采用哈氏合金,适用于惰性气体及腐蚀性强的气体

▪ 卓越的性能满足大多数半导体工艺气体

▪ PTFE材料具备良好的抗腐蚀性能及兼容性 

▪ 过滤等级为0.0025μm,即使在高流速的情况下,也不会引起出口端压力的下降 

▪ 内部抛光等级为5Ra,防止其内部污染 

▪ 通过高温氮气及去离子水清洁,满足半导体行业的标准 

▪ 清洁及包装在100级洁净室内 

▪ 100%氦气检测

韩国TK SCT超高纯在线式气体过滤器

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