佛山洁净室及空调负荷

 

1  当前集成电路(ic)及平板显示模块(fpd)生产的洁净室面积及型式

       [url=http://www.iwuchen.com/]洁净棚[/url]ic生产需要较多的洁净室面积，新兴起的fpd生产，当前主要是薄膜晶体管液晶显示模块(tft-lcd)，更是后来居上。这些产品生产需要大量的洁净室面积都是由生产工艺特点的要求以及规模经济情况决定的。

       目前上述生产厂的洁净室型式多为微环境+开放式洁净室。过去ic生产采用微环境+开放式洁净室，还是隧道式洁净室，在综合经济效果上存在着不同看法。随着ic技术的飞速发展，对生产环境的污染控制要求更严，对其灵活性要求更大，以适应产品更新换代快的要求，另外微环境与工艺结合的技术进一步发展，因此，当前微环境+开放式洁净室的型式对先进的ic生产，其优势已较明显。新兴起的fpd生产其洁净室亦基本采用这种型式。

       2  1c及四fpd生产空调冷负荷情况及节能措施

       2．1  1c厂空调冷负荷大的原因

       2．2  当前行之有效的或较合理的节能措施提出如下

      (1)宜选择高能效的设备；尤其是冷水机组、水泵，多付出的设备投资，其回收期一般较短；

      (2)[url=http://www.fenglinji.com/]全自动风淋室[/url]冷水水温宜提高至△t=7℃(即t1=5℃，t2=12℃)以减少水泵功率及管径，表冷器因冷水回水温度提高而引起传热面积的增加，一般不会>10％，经济效果会是明显的；

     (3)对送入洁净室内的空气，由于工艺发热量大，多采用新风处理到规定要求后与回风混合，以干表冷器进行处理，这样可提高干表冷器所用冷水温度至12℃/17℃，以节省冷水机组的运行能耗；

     因此，[url=http://www.songfengkou.com/]高效送风口[/url]冷水系统按冷水温度的不同宜分成二个系统，使一部分冷水机组运行工况为12℃／17℃，以更好的实现冷水机组的运行节能；

    (4)合理的自控系统以实现运行节能；

    (5)热回收利用。由于全年有空调冷负荷，因此，冷水机组冷凝器的热回收，有现实意义，宜进行平衡分析；

    在某些地区，可考虑采用无费制冷，即利用冷却塔的冷却水温度低于冷水温度1.5-2℃时，

设板式换热器以冷却水吸收冷水的热来制取冷水，而停一部分冷水机组，这对干表冷器的冷水系统(12℃／17℃)更具有意义；

    (6)ic厂全厂用电负荷大(一般在20000～40000kw)，冷负荷又全年都有，在某些情况下，

 有采用热电冷联产的条件，应加以注意。

 

参考链接：

手术室净化工程：http://www.iwuchen.com/6/

洁净室等级标准：http://www.iwuchen.com/news-2/

洁净室检测标准：http://www.iwuchen.com/news-3/

无尘厂房设计规范：http://www.iwuchen.com/news-4/

无尘车间管理制度：http://www.iwuchen.com/news-5/

洁净室换气次数标准：http://www.iwuchen.com/a-95/

高效过滤器检漏：http://www.songfengkou.com/news-2/

风淋机：http://www.fenglinji.com/