● 普通低耐压型,适用于1mpa以下非腐蚀性气体
● 响应速度100ms,无需预热,上电即可操作
● 无热漂移,长期稳定性0.1%f.s/年
● 数模兼容,可使用二次表或计算机控制和显示流量
● 内置阀控指示灯/通讯指示灯/流量指示灯
● 内置4种气体,无比热容附加误差,不影响精度
v10fd-l为模拟和数字兼容型设计:可通过模拟型二次表或plc
进行设定和显示瞬时流量;也可通过数字接口直接与计算机进行通
讯。具有通用于模拟型控制系统和数字型控制系统的特点。
v10fd-l采用无热漂移,无响应滞后的差压质量流量测量原理。多气
体多量程的设计便于用户现场配置流量计:通过拨码开关可以现场选
择四种测量气体,每种气体有3种校准量程,六个led指示灯可以
较直观的显示v10fd-l的各种工作状态。如果需要对气体流量进行
控制时,还可以加装电磁比例调节阀和内置pid调节功能。
与传统热式气体质量流量控制器/计不同,当使用气体转换系数时,
v10fd-l没有附加的比热容误差,所以,即使测量气体与出厂时的标定
气体不同,也不会影响测量精度。
产品应用:真空 镀膜 太阳能 半导体 石油石化煤炭冶金 制气配气 环保
各种分析仪器
技术参数
技术指标
v10fd-lc质量流量控制器v10fd-lm质量流量计
量程范围 小量程:5sccm~10slm 中量程:10slm~30slm
大量程:30slm~250slm
测控范围
控制器阀控范围50:1 流量计量程比100:1
准 确 度 流量:±1.5%读数±0.2%满量程
可选±0.8%读数±0.2%满量程
压力:0.5%f.s 温度:±1℃v10fd低压型流量计
线 性±0.5%f.s
重复精度 ±0.2%f.s
响应时间 100ms 10ms
数 字 量 rs232/485,modbus协议
模 拟 量 0~5v、4~20ma、1~5v
供 电 24v/±15v可选
工作温度0~50℃
工作压力 工作压差:0.03~0.5mpa 工作压降:<0.01mpa
Zui大耐压1mpa
电气连接db15孔
漏 率 1×10-9sccshe
温度系数 ±0.015%f.s/℃
底座材质 铝合金或316l不锈钢
密封材料 氟橡胶,氯丁橡胶,丁晴橡胶
接 头 vcr1/4;swagelokφ6
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