SWPHF系列溅射薄膜式压力变送器

概述

swphf系列溅射薄膜式压力变送器核心部件是saabwell与英国senstronics（胜斯特）公司合作研发的溅射薄膜压力敏感膜片，与扩散硅压力敏感元件相比，该元件工作温度范围宽得多；另外由于膜片厚度大且没有填充传压介质，所以，对恶劣外界环境的耐受能力更强。该压力变送器是专门为使用环境恶劣，且要求体积和重量小的应用场合设计的。该系列产品量程齐全，电气和机械接口形式多样，适用于航空、航天、、电力和石油等行业。

产品特点

压力敏感元件采用溅射工艺，在压力介质直接作用的17-4ph不锈钢膜片上，以分子键合的方式制作出“微米”级的电阻膜。再¾­过微电子工艺制作出需要的惠斯登电桥，组成全金属型敏感元件，无任何粘贴剂和活动件，无需密封腔和充油腔，因此具有适用恶劣环境和长期稳定性工作的特点。

产品使用17-4ph不锈钢材料，其量程从5bar（0.5mpa）到2200bar（220mpa）。

产品能¾­受106次的连续压力作用。

使用薄膜压力的敏感元件制成的产品，在温度环境下的精度优于0.01%fs℃。

传感器系列产品和变送器系列产品在设计上考虑到满足严格的电磁兼容条件，全部按照en61000-2和en61000-3标准，¾­受至少100v/m的电磁考验。

产品专用的asic电路给予特别的设计，以Zui大限度发挥薄膜传感技术的潜能来满足不同用户的使用要求。

产品能提供0～5v（三线制）； 0.5～4.5v（三线制）；4～20ma（两线制）输出。

工作原­理

溅射式压力敏感元件是在10级超净间内，通过微电子工艺制造出来的。即在高真空度中，利用磁控技术，将绝缘材料、电阻材料以分子形式淀积在弹性不锈钢膜片上，形成分子键合的绝缘薄膜和电阻材料薄膜，并与弹性不锈钢膜片融合为一体。再¾­过光刻、调阻，温度补偿等工序，在弹性不锈钢膜片表面上形成牢固而稳定的惠斯顿电桥。当被测介质压力作用于弹性不锈钢膜片时，位于另一面的惠斯顿电桥则产生正比于压力的电输出信号。将此信号¾­放大调节等处理。再配以适当的结构，就成为应用于各个领域中的压力传感器和压力变送器。

技术参数